Hutseko osagaiak

Tratamendu termikoak oxidazio, difusio eta recozitze prozesuak barne hartzen ditu batez ere.Oxidazioa prozesu gehigarri bat da, non siliziozko obleak tenperatura altuko labe batean jartzen diren eta oxigenoa gehitzen zaio haiekin erreakzionatzeko oblearen gainazalean silizea sortzeko.Difusioa substantziak kontzentrazio handiko eremutik kontzentrazio baxuko eskualdera mugitzea da mugimendu termiko molekularra, eta difusio prozesua erabil daiteke silizioko substratuan substantzia dopatzaile espezifikoak dopatzeko, eta horrela erdieroaleen eroankortasuna aldatuz.